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周期为2㈣n.玑由此可“看出血用此系统的激光r涉光刻力法.能够较方便地得到特征R寸loonm周期200度较好的l目形。2 nm H埘比 3离子束刻蚀 在光刻胶上得刊

在光刻热熔法的基础上 ,研究使用掺有重铬酸盐的明胶在光纤端部制备微型透镜的工艺 。 采用缩短显影时间法改善了光刻胶热熔法制作微透镜阵列的工艺,提高了折射型